Die Lithografie ist eine Methode der Halbleiterindustrie zur Herstellung von integrierten Schaltungen bzw. Mikrochips. Ein Lithografiesystem ist ein Projektionssystem. Das Licht wird durch eine Vorlage des Musters projiziert, das gedruckt werden soll.
Mikrochips werden hergestellt, indem komplexe Muster von Transistoren Schicht für Schicht auf einen lichtempfindlichen Silizium Wafer aufgebracht werden.
Die Lithographie ist die Grundlage für die Massenproduktion von Mikrochips.
Unser 10kW Wandler wird eingesetzt zur Versorgung von Komponenten der Lithografiesysteme. Die Anforderungen an den Wandler sind sehr anspruchsvoll aufgrund der Pulslast. Es bedarf einer hochdynamischen Stromversorgung.
